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本文从HEMT的基本原理、结构、材料、制作工艺及其在数字和模拟领域的进展等方面,综合论述了它作为超高速器件的巨大潜力和广阔的应用前景,特别着重高性能LSI技术,并指出了在改进其性能时所存在的问题。
异质结器件——HEMT
【摘 要】
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本文从HEMT的基本原理、结构、材料、制作工艺及其在数字和模拟领域的进展等方面,综合论述了它作为超高速器件的巨大潜力和广阔的应用前景,特别着重高性能LSI技术,并指出了在
【出 处】
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半导体情报
【发表日期】
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2004年期
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