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选择液相外延法制备GaAs SNOM微探尖

来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：limingxing0623

【摘 要】

：

使用GaAs(001)衬底模拟垂直腔面发射激光器(VCSEL)外延片表面，采用选择液相外延技术在其上面制备了用于超高密度光存储的扫描近场光学显微术GaAs微探尖阵列，并用扫描电子显微镜

【作 者】

：

张红治 胡礼中 孙晓娟 王志俊 梁秀萍 

【机 构】

：

大连理工大学三束材料改性国家重点实验室

【出 处】

：

半导体学报

【发表日期】

：

2005年6期

【关键词】

：

选择液相外延 微探尖 扫描近场光学显微术 selective LPEmicrotipsSNOM 

【基金项目】

：

国家自然科学基金(批准号:60377005),,辽宁省科学技术基金(批准号:20022133)资助项目~~

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使用GaAs(001)衬底模拟垂直腔面发射激光器(VCSEL)外延片表面，采用选择液相外延技术在其上面制备了用于超高密度光存储的扫描近场光学显微术GaAs微探尖阵列，并用扫描电子显微镜对微探尖阵列进行了表征．结果表明，在合适的条件下，微探尖呈金字塔状，并且有着较好的分布周期性．这对解决微探尖与VCSEL出光窗口的对准问题、批量制备问题和实现多探尖并行扫描具有实际应用价值．

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