【摘 要】
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图1为二室结构的电容传感器。两侧是固定电容,中间的动膜片电极既是一次变换元件又是二次变换元件。所以该结构简单、对称性好,已被广泛采用。
Figure 1 is a two-compartm
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图1为二室结构的电容传感器。两侧是固定电容,中间的动膜片电极既是一次变换元件又是二次变换元件。所以该结构简单、对称性好,已被广泛采用。
Figure 1 is a two-compartment capacitive sensor. Both sides of the fixed capacitor, the middle of the moving diaphragm electrode is a transformation element is a secondary transformation element. Therefore, the structure is simple and good symmetry, has been widely used.
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