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为了实现单片集成六自由度微惯性测量单元，提出了一种改进的由4个大质量块和4个小质量块组合而成的四方全对称结构的三轴陀螺仪。介绍了该惯性测量元件的结构及工作原理，根据结构参数计算出了详细的性能指标，并进行了面内驱动模态和面内外的敏感模态仿真。为提高各敏感模态的机械灵敏度，提出采用双重静电频率调谐方案，即先对公共质量块施加凋谐电压，使驱动模态和航向模态的频差最小；再对小质量块上方的多晶硅电极施加另外的调谐电压，最终使四模态频率偏差小于30Hz，从而说明该频率调谐方法是有效的。然后，通过分析热弹性阻尼能量耗散机