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提出一种RF MEMS移相器馈电结构的设计,在MEMS开关中加入MAM电容。MEMS移相器金属桥开关的馈电可以通过MAM电容,空气桥和偏置线来实现的。通过这种方法,不但实现了数字式控制,而且引入相对稳定的电容值,改善了开态和关态的电容比,提高了MEMS移相器的性能。
RF MEMS移相器馈电网络的研究
【摘 要】
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提出一种RF MEMS移相器馈电结构的设计,在MEMS开关中加入MAM电容。MEMS移相器金属桥开关的馈电可以通过MAM电容,空气桥和偏置线来实现的。通过这种方法,不但实现了数字式控制
【机 构】
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哈尔滨工业大学电子与信息技术学院
【出 处】
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电子测量与仪器学报
【发表日期】
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2009年S1期
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