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准确的测量薄膜的折射率对于集成光学器件设计和制造有着重要的意义.系统而详细地介绍了多年来在折射率测量上经常采用的几种方法,分别对其原理和特点进行了分析.
测量薄膜折射率的几种方法
【摘 要】
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准确的测量薄膜的折射率对于集成光学器件设计和制造有着重要的意义.系统而详细地介绍了多年来在折射率测量上经常采用的几种方法,分别对其原理和特点进行了分析.
【机 构】
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山东大学光学系,香港城市大学光电子学研究中心
【出 处】
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量子电子学报
【发表日期】
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2004年期
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