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介绍的一种反磁悬浮涡流旋转微陀螺的定子研究。利用现有实验设备,通过多次实验摸索,找到了一条实现反磁悬浮涡流旋转微陀螺下定子合理的工艺路径,并进行了测试,测试显示定子结构完整正常。
反磁悬浮涡流旋转微陀螺的定子研究
【摘 要】
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介绍的一种反磁悬浮涡流旋转微陀螺的定子研究。利用现有实验设备,通过多次实验摸索,找到了一条实现反磁悬浮涡流旋转微陀螺下定子合理的工艺路径,并进行了测试,测试显示定子
【机 构】
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上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细加工教育部重点实验室微米/纳米加工国防实验室
【出 处】
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微细加工技术
【发表日期】
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2008年6期
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