Investigation on Adsorption State of Surface Adsorbate on Silicon Wafer

来源 :稀有金属（英文版） | 被引量 : 0次 | 上传用户：lrg1169

【摘要】

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An adsorption kinetics model for adsorbate on the specularly polished silicon wafer was suggested. The mathematical model of preferential adsorption and the mec

【作者】

：

Liu Yuling Liu Na Cao Yang

【机构】

：

Hebei University of Technology,Beijing Petrochemical Engineering Company,Beijing Automotive and Moto

【出处】

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稀有金属（英文版）

【发表日期】

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2004年期

【关键词】

：

Adsorption Mathematical model Kinetics

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An adsorption kinetics model for adsorbate on the specularly polished silicon wafer was suggested. The mathematical model of preferential adsorption and the mechanism controlling the adsorption state of adsorbate were discussed.

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