基于液态膜的集成电路电光检测技术

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利用液态膜作为电场探测的电光材料。液态膜的探测电压灵敏度比GaAs材料高2个数量级。其原理是,基于液态极性分子的取向极化,液态膜的折射率受电场调制,从而实现电光测量。实验结果表明,在调制电场1kHz频率下测量液态膜电光系数达到95pm/V。利用液态膜对集成电路进行检测具有简单、高效的特点,很好地完成了低频场探测中弱信号的电压测量和波形显示。 The use of liquid film as the electric field to detect the electro-optic material. The detection sensitivity of liquid film is 2 orders of magnitude higher than GaAs material. The principle is that based on the orientation polarization of liquid polar molecules, the refractive index of the liquid film is modulated by the electric field to achieve electro-optic measurement. The experimental results show that the electro-optic coefficient of the liquid film reaches 95 pm / V at a frequency of 1 kHz modulated electric field. The use of liquid film on the integrated circuit detection has a simple and efficient features, well done in the low-frequency field detection of weak signal voltage measurement and waveform display.
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