坩埚加速旋转-垂直下降法晶体生长设备的研制

来源 :人工晶体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：homemoons

【摘要】

：

根据CdZnTe等Ⅱ-Ⅵ族化合物半导体晶体生长的基本原理和工艺要求,设计制造了坩埚加速旋转-垂直下降法(ACRT-VBM)晶体生长系统.本文介绍了该系统设计所考虑的基本问题和元器件

【作者】

：

谷智李国强介万奇郭平

【机构】

：

西北工业大学凝固技术国家重点实验室,西安精益晶体设备有限公司

【出处】

：

人工晶体学报

【发表日期】

：

2003年4期

【关键词】

：

坩埚加速旋转-垂直下降法晶体生长设备研制 CDZNTE 半导体 Ⅱ-Ⅵ族化合物 CdZnTeACRT-VBMcrystal growth system

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

根据CdZnTe等Ⅱ-Ⅵ族化合物半导体晶体生长的基本原理和工艺要求,设计制造了坩埚加速旋转-垂直下降法(ACRT-VBM)晶体生长系统.本文介绍了该系统设计所考虑的基本问题和元器件的选择,给出了系统的基本结构.晶体生长炉的温度控制精度为±1℃,系统的速度均匀度为±0.0015mm/h.该系统的性能指标满足生长直径30mm的CdZnTe晶体的要求.

其他文献

生物质热解制备多孔炭材料的研究进展

生物质基炭材料由于其优异的物理化学特性及经济性,在水污染治理、催化、电化学、土壤修复等诸多领域得到了广泛的利用。笔者对现有的生物质基炭材料的炭化方法进行了总结;并

期刊

生物质生物炭制备影响因素biomassbiocharpreparationinfluence factor

智能优化算法及人工神经网络在催化裂化模型分析中的应用进展

催化裂化是一个由多种高度非线性和相互强关联因素影响的复杂工艺过程,对其工艺过程和产品收率优化的数学建模分析一直是石油加工领域研究的热点和难点。集总动力学模型是机

期刊

催化裂化集总动力学神经网络人工智能fluidic catalytic crackinglumped kinetic modelneural networ

汉语思维方式对英语写作的影响

期刊

思维方式汉语思维主谓结构学生习作

刘海粟大师的艺术事业和美学思想

<正> 一、佛门大师与艺坛大师九十老人刘海粟有一次谈到同他差不多时代、或者比他稍稍前辈一些的艺坛人物时说:"近代人中,我只拜服李叔同一个人。苏曼珠只是聪明而已。李叔同

期刊

知识分子文化启蒙运动美学思想刘海粟上海美专美术展览会李叔同

预应力施工技术在市政桥梁工程中的应用

近年来,随着我国经济的快速发展,作为一种现代施工技术,预应力技术在建筑工程中被广泛的应用,特别是在市政桥梁工程建设中起到了重要作用。合理的应用预应力技术可以提高桥梁

期刊

预应力施工技术市政桥梁工程应用

智慧城市下现代城市规划设计发展方向

现代城市的逐步发展,加重了居住环境的污染,给居民的健康生活带来了严重的影响。除了运用法律手段控制环境污染,还运用设计促进绿色发展的理念,关注人与自然的和谐,促进城市

期刊

智能城市现代城市规划和设计发展

创业担保贷款扶持农民创业助力乡村振兴的调研

ue＊M＃’＃dkB4＃＃8＃”专利申请号:00109“7公开号:1278062申请日:00.06.23公开日:00.12.27申请人地址:（100084川C京市海淀区清华园申请人:清华大学发明人:隋森芳文摘:本发明属于生物技

期刊

担保贷款聊城市反担保乡村振兴

多端柔性直流故障快速恢复系统控制策略

介绍了多端柔性直流输电工程技术改造的配置方案,该方案采用直流断路器、桥臂阻尼的混合配置,实现多端柔直的直流故障快速恢复。基于直流断路器的分断原理、桥臂阻尼衰减电流

期刊

直流断路器桥臂阻尼故障选线快速恢复RTDS仿真系统

坩埚加速旋转-垂直下降法晶体生长设备的研制

与本文相关的学术论文