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B+和BF2+注入预非晶硅所形成浅结的比较

来源 :北京师范大学学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户：idcwang

【摘 要】

：

剂量为1×1015cm-2的10keV B+和45keV BF2+分别注入（100）n型预非晶硅中,随后在温度为1000和1100℃,时间为2,5和10s的条件下分别进行快速热退火.使用扩展电阻仪,对B+和BF2+注入

【作 者】

：

张朝明 卢志恒 张荟星 李素杰 罗晏 

【机 构】

：

北京师范大学低能核物理研究所,北京师范大学低能核物理研究所,北京师范大学低能核物理研究所,北京师范大学低能核物理研究所,北京师范大学低能核物理研究所,

【出 处】

：

北京师范大学学报(自然科学版)

【发表日期】

：

1989年01期

【关键词】

：

浅结 离子注入 预非晶 

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剂量为1×10¹⁵cm^-2的10keV B⁺和45keV BF₂⁺分别注入（100）n型预非晶硅中,随后在温度为1000和1100℃,时间为2,5和10s的条件下分别进行快速热退火.使用扩展电阻仪,对B⁺和BF₂⁺注入所形成浅结的结深及载流子的电激活率进行了测量、对比;通过横断面透射电镜照片,对退火后样品的剩余损伤进行了分析.

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