【摘 要】
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利用电子束蒸镀技术在石英玻璃和单晶Si〈100〉上制备了纳米TiO2 薄膜,研究了衬底温度和退火温度对其结构、相组成和亲水性能的影响.结果表明,衬底温度为40-240℃时,石英玻璃
【机 构】
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西南科技大学理学院,西南科技大学分析测试中心,国家金刚石工具质量监督检验中心
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利用电子束蒸镀技术在石英玻璃和单晶Si〈100〉上制备了纳米TiO2 薄膜,研究了衬底温度和退火温度对其结构、相组成和亲水性能的影响.结果表明,衬底温度为40-240℃时,石英玻璃上制备的薄膜为无定型TiO2,单晶Si〈100〉上制备的薄膜为弱结晶性的金红石TiO2,两类薄膜的亲水性均很差.退火温度显著影响薄膜的相组成及亲水性能.石英玻璃上不同衬底温度制备的TiO2 薄膜经550,650 ℃退火后均转变为锐钛矿TiO2,具有很好的亲水性能. 单晶Si〈100〉上不同衬底温度制备的TiO2 薄膜经550-9
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