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光学材料的亚表面损伤层( SSD )是激光光学领域内的研究热点之一。亚表面损伤层的存在将导致其表面薄膜特性发生变化，尤其是在高精度低损耗激光薄膜的设计与制造中亚表面损伤层必须给予考虑。文中研究了亚表面损伤层的物理特性，并借助于椭圆偏振仪测量基底表面的椭偏光谱，反演计算出SSD的物理厚度和折射率梯度。通过计算得到了亚表面的深度和梯度对激光减反膜反射率光谱的影响，证明了亚表面深度对反射率的影响具有周期效应。在考虑亚表面损伤层的深度和梯度存在的基础上，对激光减反膜的设计进行了理论修正，数值实验结果证明通过膜系的修正可以实现633 nm处的零反射。