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采用低成本溶胶凝胶旋涂法制备了不同Mg含量的Zn1-xMgxO薄膜，用其代替传统化学水浴法制备的CdS作为铜铟镓硒（Cu（In，Ga）Se2，CIGS）薄膜太阳电池的缓冲层材料．用x射线衍射仪、原子力显微镜、紫外可见吸收光谱和X射线光电子能谱仪等研究了Mg掺杂量对Zn1-xMgxO薄膜的结构、形貌、光学性能及Zn1-xMgxO／CIGS异质结之间能带排列的影响．结果表明：所制备的Zn1-xMgxO薄膜均为非晶结构；随着Mg掺入量的增加，Zn1-xMgxO薄膜的表面形貌由条纹状变为六方形纳米颗粒，表面粗糙度