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介绍了声表面波气体传感器的基本工作原理和设计方法，通过SAW芯片拓扑结构、敏感膜、覆膜工艺和信号处理电路等方面的优化，研制出两种SAW化学战剂气体传感器，具有灵敏度高、响应和解吸附快，抗干扰能力强的特点。
声表面波化学战剂气体传感器的研究
【摘 要】
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介绍了声表面波气体传感器的基本工作原理和设计方法，通过SAW芯片拓扑结构、敏感膜、覆膜工艺和信号处理电路等方面的优化，研制出两种SAW化学战剂气体传感器，具有灵敏度高、响应
【机 构】
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四川压电与声光技术研究所
【出 处】
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压电与声光
【发表日期】
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2008年5期
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