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以真空灭弧室的一次封排工艺的真空度质量为主,对真空灭弧室有关的设计、工艺流程等方面进行讨论;这会对真空灭弧室的生产开发和电真空工艺有所帮助.
真空灭弧室的一次封排工艺
【摘 要】
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以真空灭弧室的一次封排工艺的真空度质量为主,对真空灭弧室有关的设计、工艺流程等方面进行讨论;这会对真空灭弧室的生产开发和电真空工艺有所帮助.
【机 构】
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北京真空电子技术研究所
【出 处】
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真空电子技术
【发表日期】
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2003年1期
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