射频微机电系统相关论文
本文提出了一种基于人工神经网络的射频微机电系统移相器的建模方法。对于复杂的移相器三维结构选择了三个对于电磁特性敏感的参数......
射频微机电系统(RF MEMS)开关是基于MEMS技术的微波信号变换的关键元件，开关的可靠性及失效问题是决定其能否最终成功应用的关键，也......
薄膜体声波谐振器是GHz频段的“晶体谐振器”，可用来构成射频前端的滤波器、双工器以及低相噪的射频振荡器等，在现代通讯系统中具有......
会议
提出压电谐振滤波器不能很好地滤除高频谐波的问题,结合一个具体例子理论推导了压电谐振滤波器存在许多干扰谐振频率,从而不能有效......
射频微机电系统(RF MEMS)开关是基于MEMS技术的微波信号变换的关键元件,开关的可靠性及失效问题是决定其能否最终成功应用的关键.......
设计了一种工作在0 ~8GHz频段的热驱动式RF MEMS开关.开关利用热驱动方式实现横向金属直接接触,因此具有较好的射频性能.开关的结......
在射频领域,射频微机电系统(Micro-Electro-Mechanical System,MEMS)可变电容拥有广阔的发展前景,近些年来得到国内外众多MEMS科研......
射频微机电系统(RF MEMS)开关在自动测试设备、无线通信、卫星基站和军用雷达等许多领域都有广泛的应用。本论文提出了一种新型的......
滤波器是射频微机电系统(Radio Frequency Microclectronics mechanicalsystem，简称RF MEMS)中最基本的元件之一，由于具有较低的插入......
射频微机电系统(RFMEMS)器件以其优良的微波特性，以及多功能、低功耗、线性和低成本等优点，正成为近年来无线通信领域的研究热点，RFME......
作为一种新型微波芯片技术，射频微机电系统(Radio Frequency Micro- Electro-Mechanical Systems，RF MEMS)器件因其具有损耗低、体积......
近年来,随着微机电系统(MEMS)加工工艺的进步,RF MEMS技术在雷达和通信等领域的应用显示了巨大潜力。开关作为射频微波电路的基础......
提出了一种椭圆低通可调滤波器的调谐方法,即通过调节第一传输零点(FTZ)来改变3 dB截止频率Tc.解析计算表明,小范围内改变FTZ既可......
介绍了一种新型斜拉梁结构的电容耦合式开关的制作.该开关的上电极采用斜拉梁支撑结构以提高上电极的平整性和开关整体的可靠性,通......
插入损耗是射频微机电系统(RF MEMS)开关的关键性能指标之一.电容式RF MEMS开关是一种适合高频应用的开关器件,对其损耗机制进行了......
为了获得高性能MEMS螺线管微电感，考虑了几何结构参数对微电感性能的影响，用HFSS软件对特定结构的微电感进行仿真，仿真结果与实验研制......
提出了一种椭圆低通可调滤波器的调谐方法,即通过调节第一传输零点（FTZ）来改变3dB截止频率Tc。解析计算表明,小范围内改变FTZ既可调......
我国终端产业链在推进自主创新OPhone之类的旗舰手机终端同时，应针对LTE／LTE-A及移动互联、手机电视发展需求，在手机技术高端发展方向......
设计了一种工作在0～8GHz频段的热驱动式RFMEMS开关．开关利用热驱动方式实现横向金属直接接触，因此具有较好的射频性能．开关的结构层由......
提出了一种横向接触式RF MEMS开关,采用金属叉指结构进行驱动。通过结构建模和性能仿真,对叉指结构进行了优化,提高了机械性能,减......
针对具有低损耗、高隔离度性能的微机电系统（Micro-Electro-Mechanical System,MEMS）开关,介绍了串联DC式和并联电容式的开关结构模......
采用射频网络法分析了ZnO薄膜体声波谐振器的谐振特性，并考虑了介质声损耗对品质因数Q值的影响。采用硅体刻蚀工艺在硅基片上制备了......
本文扩展了部分元等效电路(PEEC)法来分析RF-MEMS电感的三维结构衬底耦合.将电边界条件引入PEEC法中,从而得到包含了衬底耦合的电......
给出了改进的电容式开关等效电路模型以及基于该电路模型的一种新型的多频段工作的电容式RFMEMS开关的设计和制作研究。分析表明，当......
介绍了一种新型斜拉梁结构的电容耦合式开关的制作.该开关的上电极采用斜拉梁支撑结构以提高上电极的平整性和开关整体的可靠性,通......
介绍了一种基于UV-LIGA加工技术的双稳态电磁型RF MEMS开关,该结构由于使用了永磁体单元而使得开关在维持'开'或'关&#......
介绍了一种薄膜体声波谐振器和它的制备流程。该谐振器采用氧化锌压电薄膜作为压电材料，通过从硅片背部体刻蚀硅衬底的方法得到谐振......
利用简单MEMS技术制作了高品质因数的射频可调微机械电容.此电容由静电驱动,利用WYKO NT1100光学表面轮廓仪测量在不同外加直流电......
利用MEMS技术制作了高性能的空芯螺线管型射频微机械电感，这种微电感采用铜线圈以减小线圈寄生电阻，整个微电感的面积是880μm×......
插入损耗是射频微机电系统(RF MEMS)开关的关键性能指标之一。电容式RF MEMS开关是一种适合高频应用的开关器件,对其损耗机制进行......
传统电子移相器由于损耗问题难以向更高频率发展,射频微机电系统(RF MEMS)技术的出现使其得以替代半导体开关来设计更高频率的移相......
射频微机电系统(RF MEMS)是MEMS技术的一个重要分支,也是一项可以对未来射频系统产生重大影响的技术。经过多年的发展,RF MEMS技术......
主要利用Mason等效电路模型对加入介质声损耗的薄膜体声波谐振器输入阻抗公式进行了推导，并利用该结果对薄膜体声波谐振器的谐振特......
提出压电谐振滤波器不能很好地滤除高频谐波的问题，结合一个具体例子理论推导了压电谐振滤波器存在许多干扰谐振频率，从而不能有效滤......
对一种适合于X波段通信系统的RFMEMS可变电容进行了结构设计和工艺实现。该电容用高阻硅作为衬底材料，采用凹形和T形梁结构，整个结构......
研究了一种新型的、应用于X波段的高隔离度RFMEMS电容式并联开关结构。相比于普通的并联结构，该开关通过共面波导（CPW）传输线与地平面......
提出了基于ZnO压电薄膜多层结构的2．4GHz射频薄膜体声波谐振器，并进行了研究。采用修正后的Mason等效电路模型对器件的谐振特性进行......
从Mason等效电路模型出发，研究了基于薄膜体声波谐振器的梯形结构射频滤波器的设计。以往的研究中都没有考虑到介质的声损耗，这样得......
较全面地介绍了 RF MEMS 器件、由 RF 器件构成的组件及应用系统,并给出了一些新的典型示例。通过比较 RF MEMS 器件与传统微波器......
随着无线通信系统向小型化、低电压、低功耗、多功能、高性能和更高频方向发展,现有的半导体工艺无法满足射频通信部件的高性能和......
射频微机电系统(简称RF MEMS)通过机械移动或振动实现了射频电子器件的功能。在低到中功率应用中,RF MEMS开关具有比传统半导体开......
随着现代通信技术的发展，通信系统对器件高集成度和小型化的要求越来越高，传统的滤波器已经不能充分适应这个需求。采用可调滤波器不......
从低频段到毫米波频段,RF MEMS器件具有体积小、紧凑且方便集成的特点。MEMS工艺相比传统工艺手段提供了精确度为μm级加工,有利于......
针对射频微机电系统（RFMEMS）开关工作时因介质充电而发生“粘连”失效的问题，提出了利用静电斥力驱动替代传统的静电引力驱动方式，使RF......
介绍了基于梳状、梁式、圆盘三种结构的射频微机电系统(RF-MEMS)谐振器及滤波器,并对RF-MEMS谐振器及滤波器的结构与性能参数进行......
