【摘 要】
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采用单步光刻和湿法腐蚀工艺，低成本快速制作面向高性能蓝光和红光DVD光学头物镜的衍射微透镜.所制微光学结构的表面粗糙度在纳米量级，衍射相位台阶的高度在亚微米量级并可以根
【机 构】
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华中科技大学多谱信息处理技术国防科技重点实验室,武汉光电国家实验室,中国科学院半导体研究所
【基金项目】
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湖北省自然科学基金;控制与仿真技术国防科技重点实验室基金;航天创新技术基金资助项目~~
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采用单步光刻和湿法腐蚀工艺，低成本快速制作面向高性能蓝光和红光DVD光学头物镜的衍射微透镜.所制微光学结构的表面粗糙度在纳米量级，衍射相位台阶的高度在亚微米量级并可以根据需求灵活调整，通光孔径在毫米至厘米量级的范围内可调.组成衍射微透镜的大量基本相位结构，可以根据入射和出射光束的形貌特征及参数指标，通过衍射积分算法灵活设置和排布.远场光学测试显示了所制衍射微透镜的高衍射效能.
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