压电陶瓷微位移器的非线性修正

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针对压电陶瓷微位移器的非线性问题进行了深入的研究,提出了使用该方法可以将压电陶瓷微位器的非线性度从25%降到4%,这是一种简单、方便、可靠、成本低的非线性补偿方法.文中对压电陶瓷微位移器的非线性机理做了深入的研究,并给出了一个基于IBM486计算机与MCS98单片机以及测试试验台组成的一个完整的试验系统. Aiming at the nonlinear problem of piezoelectric microdisplacement, the nonlinearity of piezoelectric microdisplacement is reduced from 25% to 4% using this method, which is a simple, convenient, Reliable, low cost non-linear compensation method. In this paper, the nonlinear mechanism of piezoelectric microdispenser has been deeply studied, and a complete test system based on IBM486 computer, MCS98 singlechip and test stand has been given.
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