化学气相沉积工艺对碳化硅纤维毡热解碳涂层的影响

来源 :南通大学学报：自然科学版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：hahahaha8

【摘要】

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以丙烷（C3H8）为碳源气体、碳化硅纤维（SiCf）毡为沉积基体,通过化学气相沉积工艺（CVD）在SiCf毡中沉积热解碳（PyC）,分析了不同沉积温度、氮气与丙烷的气压比（PN2/PC3H8）和沉积时间对PyC沉

【作者】

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胡燕许然聂磊清居文斌季涛

【机构】

：

南通大学纺织服装学院,苏州赛力菲陶纤有限公司

【出处】

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南通大学学报：自然科学版

【发表日期】

：

2016年1期

【关键词】

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碳化硅纤维毡热解碳化学气相沉积聚碳硅烷不熔化纤维 silicon carbide fiber felt pyrolytic carbon chemical

【基金项目】

：

江苏省大学生实践创新训练计划项目

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以丙烷（C3H8）为碳源气体、碳化硅纤维（SiCf）毡为沉积基体,通过化学气相沉积工艺（CVD）在SiCf毡中沉积热解碳（PyC）,分析了不同沉积温度、氮气与丙烷的气压比（PN2/PC3H8）和沉积时间对PyC沉积形貌和沉积厚度的影响.结果表明：沉积温度低于800℃时,PyC的沉积难以进行;系统总压为10 kPa、PN2∶PC3H8=2∶1、沉积温度为900℃的条件下可以获得均匀致密的PyC层;PN2/PC3H8、沉积温度的改变都可以使PyC层的形貌产生变化;对于厚度为5 mm的碳化硅纤维毡,沉积时间为6

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