论文部分内容阅读
本文制备了六种不同结构的 α-Si:H 多层膜结构,对其切面进行了扫描电镜观察分析.结果表明:辉光法生长 α-Si:H 膜过程中存在沉积和刻蚀一对对抗性矛盾,在常规工艺下各层界面不明显存在,在特殊条件下,可能生长出尺度不同的微晶镶嵌在非晶网络中。
α—Si：H多层膜切面电镜观察分析
【摘 要】
：
本文制备了六种不同结构的 α-Si:H 多层膜结构,对其切面进行了扫描电镜观察分析.结果表明:辉光法生长 α-Si:H 膜过程中存在沉积和刻蚀一对对抗性矛盾,在常规工艺下各层界面
【机 构】
：
电子科技大学微电子科学与工程系,电子科技大学微电子科学与工程系
【出 处】
：
电子科技大学学报
【发表日期】
：
1990年1期
其他文献
描述了一种用于机载雷达测试的中频地杂波信号模拟器,其特点是杂波信号功率谱形状十分接近理想的高斯型,其幅度分布和相位分布也同时接近真实的地杂波分布。该设备采用了双通
创新对于监狱来说，有着重要的现实意义。社会转型期的大背景和以网络为主的传播革命的推动．决定了创新必须在监狱内部圈层内导入新的元素和要义，以更好地回应社会的期待和诉求。
<正>2016年第十九届中国国际皮革展于8月31日如期拉开帷幕。本届展会继续以业界一份子的角色为中国皮革业服务。主办机构的相关领导出席了简洁高效的开幕仪式,随后宣布本届展
期刊
作者在文献[1,2]中提出过一种基于 DM(LDM 和 ADM)序列的 DFT 实现方法,与常规的 PCM 处理方法相比较,它不需要使用模数变换器和乘法器,从而简化了硬件设备量,降低了成本,而
在导出 RC 正弦波振荡器的频偏公式之后,对文氏电桥振荡器和具有单 T 选频网络的正弦波振荡器的频率稳定度进行了具体而深入的分析。从而揭示了频率稳定判据 S_F 的适用范围
介绍了液相共沉淀法制备掺锑钛酸钡粉体的原理、工艺流程。通过对粉体和陶瓷片性能的测试,阐明了共沉淀法制粉体的优越性。共沉淀法可以应用于制备其它电子材料。
专业教学改革是高职院校加强内涵建设、提升办学实力的重要内容。以专业教学改革为抓手，全面提高高等职业教育人才培养质量，是提高学校办学水平，推进高等职业教育健康发展的重要