【摘 要】
：
本文研究了硅中砷离子注入层经红外辐照退火后的热处理特性,测量了表面薄层电阻随后热处理温度的变化关系.实验结果表明,对于红外辐照~(75)As离子注入样品,表面薄层电阻随后
【机 构】
：
西安交通大学电子工程系,西安交通大学电子工程系
论文部分内容阅读
本文研究了硅中砷离子注入层经红外辐照退火后的热处理特性,测量了表面薄层电阻随后热处理温度的变化关系.实验结果表明,对于红外辐照~(75)As离子注入样品,表面薄层电阻随后热处理温度的升高而发生规律性的变化,在900℃附近达到最小值,此时注入杂质的电激活率大于100%.
In this paper, the heat treatment characteristics of arsenic ion implanted layer in silicon after being annealed by infrared radiation were studied and the relationship between the surface sheet resistance and the subsequent heat treatment temperature was measured.The experimental results show that for the infrared implanted (75) As ion implanted sample, the surface The sheet resistance then changes regularly with the increase of the heat treatment temperature and reaches the minimum near 900 ° C. The electrical activation of the implanted impurities is greater than 100%.
其他文献
对半导体硅及其器件芯片中的诱生热缺陷,用XCD-H红外电视显微镜进行了无损检测.通过显微拍照和磁带录相,获得了电活性位错与堆垛层错微区金属杂质富集以及氧沉淀环状活性团等
近年来,杭州市委、市政府坚持“以人为本,和谐发展”的原则,在经济建设上取得显著成绩的同时,加强了城市绿化和生态环境建设,相继摘取了国家园林城市、国家卫生城市、中国最
概述 PC—500系列碱性氯化铜蚀刻机是蚀刻锡—铅镀层,金、锡—镍镀层等为防蚀刻层用的印制电路板专用设备。本机器液压喷洒泵采用钛泵供压,用特制的喷咀,喷出的蚀刻液为实芯
波长为650～660nm的Ga_(1-x)Al_xAs红光二极管,由于在室外显示、交叉路口信号灯及作为塑料光纤通信的光源等方面的新应用而得到发展。这是因为该二极管亮度高,发射波长正好与
从本期开始,我们将开辟宗教学研究专栏。宗教是一种复杂的社会现象,马克思对此有过非常深刻的论述,他指出:“一切宗教都不过是支配着人们日常生活的外部力量在人们头脑中的幻
如今，买二手货已经为很多人所接受。有时，一些质优价廉的二手货，比原装正品更存吸引力。不过，有些商家用二手货冒充新品出售，这就令人无法接受了。
Nowadays, buying second-hand
２１世纪人类将步入信息社会，处算机将成为人们工作、学习和生活不可或缺的工具，而计算机 基础教育必将获得空前的发展，成为提高全民素质的必由之路。
In the 21st century, as hum
上海天地拍卖公司将于12月26日举办秋季艺术精品拍卖会。公司同仁经过一年多的精心准备,征集了古代、近现代许多优秀拍品,其中的精彩拍品让我们先睹为快。石涛《山水》精品册
2009年1月8日,自治区十一届人大二次会议巴音郭楞蒙古自治州代表在审议政府工作报告。“我们要将中央和自治区的政策机遇优势,与轮台县的区位优势、石油天然气资源优势、大
本文从电子的相对论运动方程和能量方程出发,详细分析了迴旋佩尼管内的束波互作用,提出了适用于任意TE_(mn)模和任何次迴旋谐波工作的大信号理论。计算机模拟表明,这种器件具