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研究了用于制备悬空结构的叠层光刻胶牺牲层工艺．讨论了工艺中常遇到的烘胶汽泡、龟裂、起皱、刻蚀电镀种子层时产生的絮状物和悬空结构释放时的粘附等问题，并提出了相应的解决办法．借助于分层刻蚀法和逐步替换法，用叠层光刻胶作牺牲层并利用湿法释放技术，制备得到了长1400μm、厚6μm、宽40μm、悬空高为10μm的完好的悬臂梁结构．