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应用Origin软件对实验数据进行处理，得出湿敏元件在不同相对湿度下复阻抗随频率变化曲线。根据理想等效电路的复阻抗曲线与实际测量得到的曲线进行比较，提出相应的等效电路，用阻抗分析软件Zsimpwin时氧化钛在不同温度下的交流阻抗测试结果进行对比拟合处理，推导出等效电路的有关参数。对氧化钛湿敏元件提出新的模型结构，并用Zsimpwin软件进行参数拟合，拟合结果证明该模型的合理性。