【摘 要】
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具有材料理论密度的金属薄膜对于材料高压状态方程（EOS）研究而言具有重要的意义.本文提出采用金刚石车削技术,利用超精密金刚石车床、金刚石圆弧刀具及真空吸附夹持技术,对纯铝
【机 构】
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中国工程物理研究院激光聚变研究中心
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具有材料理论密度的金属薄膜对于材料高压状态方程（EOS）研究而言具有重要的意义.本文提出采用金刚石车削技术,利用超精密金刚石车床、金刚石圆弧刀具及真空吸附夹持技术,对纯铝和无氧铜进行端面车削,完成了EOS实验用铝薄膜和铜薄膜的车削加工,实现了薄膜密度接近材料理论密度.精加工工艺参数为：进给量0.001 mm/r,主轴转速3000 r/min,切削深度1 μm.采用Form Talysurf series 2型触针式轮廓仪进行测量,结果表明：铝薄膜、铜薄膜厚度可以达到小于10 μm水平,表面均方根粗糙度小于
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