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用于生产高亮度LED的全自动光刻机MA100e Gen2问世 全球知名的半导体行业及相关设备和工艺解决方案供应商SUSSMicroTec日前推出新一代MA100e光刻机,专用于高亮度发光二极管(HB—LEDs)生产。MA100e基于SUSS Micro Tec光刻机经典设计,具有最大至100mm(4英寸)的载片能力,每小时产量可达145片,业界领先。