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本文基于双光栅法测量准直性原理，在５５０ｍｍ的平行光管上完成了一系列的实验研究，相对测量精度达到０．０３６％，并对误差源及提高测量精度的方法作了一定的分析。
双光栅准直测量系统及其精度分析
【摘 要】
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本文基于双光栅法测量准直性原理，在５５０ｍｍ的平行光管上完成了一系列的实验研究，相对测量精度达到０．０３６％，并对误差源及提高测量精度的方法作了一定的分析。
【机 构】
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清华大学精密测试技术与仪器国家重点实验室,100084
【出 处】
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实用测试技术
【发表日期】
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1997年3期
【基金项目】
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国家自然科学基金,,中国航天工业总公司五院508所资助
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