Fabry-Perot标准具间距的智能测量研究

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在测量F—P标准具的间距时,为了实现快速精确的智能化测量,利用CCD进行采集图像数据,对采集到的图像进行二值化和细化处理后,根据最小二乘法及精确小数符合法,对所采集的数据进行快速的程序化的智能处理,大大提高了数据处理速度与测量的精度,且使F—P间距的测量误差小于10^-6mm.
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