一种微型光开关的设计与仿真分析

来源 :光学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：pocohao

【摘要】

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介绍了一种新型的聚酰亚胺(PI)悬臂梁式电磁驱动微机电系统(MEMS)光开关,并对其总体结构进行了设计与仿真分析.运用有限元分析的方法,设计了永磁体的最佳尺寸并优化了悬臂梁

【作者】

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李伟梁静秋李小奇钟砚超梁中翥孙德贵

【机构】

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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室,中国科学院研究生院

【出处】

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光学学报

【发表日期】

：

2004年期

【关键词】

：

微机电系统光开关有限元分析电磁驱动

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介绍了一种新型的聚酰亚胺(PI)悬臂梁式电磁驱动微机电系统(MEMS)光开关,并对其总体结构进行了设计与仿真分析.运用有限元分析的方法,设计了永磁体的最佳尺寸并优化了悬臂梁的结构;分析了聚酰亚胺悬臂梁的扭转力、电磁力与挠度的关系.当输入电流为75 mA时,聚酰亚胺悬臂梁达到平衡时的挠度约为1.02 mm,能够满足器件转换光路的要求.

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