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钛酸锶钡(BST)薄膜是一种重要的铁电薄膜,应用广泛,是高新技术研究的前沿和热点之一.简要介绍了BST薄膜的制备方法和应用,对此薄膜的基片、电极、晶界、界面、热处理、膜厚及组成、结构、性能等方面作了重点讨论,提出了研究中需要解决的一些问题.
钛酸锶钡(BST)薄膜的组成、结构与性能研究进展
【摘 要】
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钛酸锶钡(BST)薄膜是一种重要的铁电薄膜,应用广泛,是高新技术研究的前沿和热点之一.简要介绍了BST薄膜的制备方法和应用,对此薄膜的基片、电极、晶界、界面、热处理、膜厚及
【机 构】
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电子科技大学微电子与固体电子学院
【出 处】
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真空科学与技术
【发表日期】
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2003年4期
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