VLSI集成电路版图点到点三维电阻计算

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在超大规模集成电路(VLSI)电路设计中,两点之间的等效电阻是设计人员所要考虑的重要参数。随着深亚微米工艺的广泛应用,版图形体日趋复杂,现有版图电阻提取工具的计算方法已难满足精度要求。本文提出了对于不同种类的三维复杂形体,其电阻网络采用不同的提取方法。对于简单形体采用解析法,对于复杂形体通过三维边界元计算方法提取版图电阻。基于提取的电阻网络,通过求解电路方程计算两点之间的等效电阻。实验表明,此方法对于实际电路设计中任意两点等效电阻计算,相比较于现有工具的方法具有计算速度快,计算精度高,计算效果好等特点。
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