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本文通过对荣华二采区10<
Feature Scale Simulation of PECVD of SiO2 in SiH4/N2O Mixture
【摘 要】
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本文通过对荣华二采区10
【机 构】
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Institute of Microelectronics, Tsinghua University, Beijing 100084, China
【出 处】
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黑龙江科技信息
【发表日期】
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2014年4期
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