小景深自检系统构架

来源 :科学时代(上半月) | 被引量 : 0次 | 上传用户:ZHANQIWEI
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中国太阳能产业大多集中在从多晶硅到电池片的生产模式上.多晶硅太阳能电池的产业链有硅料、硅片、电池片、电池组件、应用系统5个环节,其整个产业链中检测技术基本被国外垄断,国内设备大部分是手动或半自动,设备之间的衔接依靠人工来完成.手工操作根本无法适应超大、超薄硅片生产工程中的质量检测要求.由于太阳能电池片是大面积表面产品,一片晶圆在成品过程中经过很多工作站,为了适应大面积高分辨率的高速检测要求,构架了太阳能电池板生产流程检测系统以提高飞速发展的太阳能产业的需求.
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