【摘 要】
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激光二极管(LD)抽运Nd:YAG激光器在精密加工领域得到了广泛的应用。介绍了一种结构简单的用于Al2O3陶瓷片微细钻孔的LD侧面抽运Nd:YAG声光调Q激光器。通过优化谐振腔型提高了光束质量, 在用于Al2O3陶瓷片表面加工微细孔时有效减小了孔的锥度。分析了谐振腔的设计思路, 给出了谐振腔的具体结构。实验表明激光器在10 kHz重复频率时, 基模输出平均功率超过20 W, 脉冲宽度约为200 ns, 双方向光束质量M2因子值均小于1.5。
【机 构】
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中国计量科学研究院,北京100013中国兵器装备研究院,北京100089华北光电技术研究所,北京100015
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激光二极管(LD)抽运Nd:YAG激光器在精密加工领域得到了广泛的应用。介绍了一种结构简单的用于Al2O3陶瓷片微细钻孔的LD侧面抽运Nd:YAG声光调Q激光器。通过优化谐振腔型提高了光束质量, 在用于Al2O3陶瓷片表面加工微细孔时有效减小了孔的锥度。分析了谐振腔的设计思路, 给出了谐振腔的具体结构。实验表明激光器在10 kHz重复频率时, 基模输出平均功率超过20 W, 脉冲宽度约为200 ns, 双方向光束质量M2因子值均小于1.5。
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