质子注入等平面GaAs梁式引线混频管

来源 :固体电子学研究与进展 | 被引量 : 0次 | 上传用户:Michaelyfj
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本文论述质子注入等平面GaAs梁式引线混频管的特点、器件结构及工艺途径.根据理论分析及实验,采用厚度合适的选镀金层作为掩蔽膜,选定合适能量及剂量的多能量叠加质子注入条件,得到较为满意的实验结果,制成的样管在8mm波段测得的变频损耗Lc=5~5.5dB.
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