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山东大学承担的“九五”国家科技攻关专题《新型超大规模集成电路清洗技术》在清洗剂及清洗机理等方面取得突破性进展，清洗技术现已推广到25个省、市、自治区200多个厂家使用，取得显著的经济效益和社会效益。
山东大学集成电路清洗技术获得突破性进展
【摘 要】
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山东大学承担的“九五”国家科技攻关专题《新型超大规模集成电路清洗技术》在清洗剂及清洗机理等方面取得突破性进展，清洗技术现已推广到25个省、市、自治区200多个厂家使用，
【出 处】
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山东电力高等专科学校学报
【发表日期】
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2000年2期
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