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该文以混合集成VDMOS管为对象进行功率循环试验，将温循试验后的热阻变化进行对比分析。首先基于结构函数对VDMOS样品的热阻变化的因素进行分析。其次利用有限元分析法计算模块中各部分温度分布情况，并对比模块内部各层温度随时间的变化状态。最后结合Coffin-Manson关系外推不同温度变化条件下的循环次数。