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微电子机械系统(MEMS)领域飞速发展,考虑到关于其失效机理的研究远远落后于现实生活对其产品的需求,制约了MEMS技术的发展.重点介绍了几种用连续介质的方法对纳米接触问题的进行研究的典型方法,以及各种方法的理论来源和适用范围.对MEMS接触问题的进一步研究提出了具体的看法.
弹性纳米接触的研究方法
【摘 要】
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微电子机械系统(MEMS)领域飞速发展,考虑到关于其失效机理的研究远远落后于现实生活对其产品的需求,制约了MEMS技术的发展.重点介绍了几种用连续介质的方法对纳米接触问题的
【机 构】
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西安电子科技大学机电工程学院
【出 处】
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科技经济市场
【发表日期】
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2007年11期
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