新实验技术在材料研究中的应用讲座 第十一讲 Auger谱仪和扫描Auger谱仪在材料研究中的应用

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七十年代初发展起来的微区分析新技术──Auger谱仪(AES)及扫描Auger 谱仪(SAM)在材料研究中的应用愈来愈受到人们的重视. 长期以来,Auger效应[1]未能找到实际应用.直至1953年才由Lander[2]提出了可在超高真空中测量Auger电子,这种电子由于能保持来自表面层的特征能量信息而可 In the early 1970s, the development of micro-area analysis of new technologies - Auger spectrometer (AES) and scanning Auger spectrometer (SAM) in materials research more and more people’s attention.For a long time, the Auger effect [1] Failed to find a practical application. It was not until 1953 that Lander [2] proposed that Auger electrons can be measured in an ultra-high vacuum, since such electrons can retain the characteristic energy information from the surface layer
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