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一、概述一切半导体器件都可能受到高压的静电损害.GaAs、MOS等器件对静电放电损害尤为敏感,被称为静电敏感器件(ElectrostaticSensitive DevicesESD).随着ESD的大量生产和广泛应用,特别是微电子工业的发展,防静电概念已越来越被人们重视.
论防静电工作
【摘 要】
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一、概述一切半导体器件都可能受到高压的静电损害.GaAs、MOS等器件对静电放电损害尤为敏感,被称为静电敏感器件(ElectrostaticSensitive DevicesESD).随着ESD的大量生产和广
【机 构】
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电子部五所
【出 处】
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电子质量
【发表日期】
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1994年3期
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