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本文研究了聚酰亚胺钝化工艺及其在大功率台面器件中的应用.实验结果表明,采用聚酰亚胺膜代替以往的SiO2膜钝化,不仅提高了器件耐严酷环境的能力,而且有助于改善器件的高温性能.
大功率台面器件聚酰亚胺钝化工艺的研究
【摘 要】
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本文研究了聚酰亚胺钝化工艺及其在大功率台面器件中的应用.实验结果表明,采用聚酰亚胺膜代替以往的SiO2膜钝化,不仅提高了器件耐严酷环境的能力,而且有助于改善器件的高温性
【机 构】
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杭州半导体厂
【出 处】
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半导体技术
【发表日期】
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1988年03期
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