【摘 要】
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锇靶是制备M型阴极常用的一类靶材,须具有纯度高、致密度高、晶粒细小等特性,然而,传统工艺烧结因烧结温度较高获得的靶材晶粒较粗大,对阴极覆膜沉积不利。本研究对锇粉模压成圆饼压坯,之后采用微波烧结压坯。微波烧结锇压坯过程中以碳化硅、氧化锆作为辅助加热材料,氧化铝作为保温材料,升温速率在20~30 min/℃之间。结果表明,当随着压强从100增加到300 MPa,微波烧结1500℃保温60 min后,样品相对密度从80.61%快速增加到93.44%。当压强继续增加到400 MPa时,相对密度随着压强的增长变缓达
【机 构】
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北京工业大学新型功能材料教育部重点实验室,有研工程技术研究院有限公司
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锇靶是制备M型阴极常用的一类靶材,须具有纯度高、致密度高、晶粒细小等特性,然而,传统工艺烧结因烧结温度较高获得的靶材晶粒较粗大,对阴极覆膜沉积不利。本研究对锇粉模压成圆饼压坯,之后采用微波烧结压坯。微波烧结锇压坯过程中以碳化硅、氧化锆作为辅助加热材料,氧化铝作为保温材料,升温速率在20~30 min/℃之间。结果表明,当随着压强从100增加到300 MPa,微波烧结1500℃保温60 min后,样品相对密度从80.61%快速增加到93.44%。当压强继续增加到400 MPa时,相对密度随着压强的增长变缓达
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