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设计了一个新颖的三自由度微动定位平台,用于补偿现有宏定位平台的定位误差。通过柔性铰链柔度公式计算出放大比,用ANSYS仿真软件分析出机构的固有频率,通过一些开环实验得到的数据可以证明该3-RRR微动平台具有较好的性能。
用于角位移补偿的新型XYθ微动定位平台
【摘 要】
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设计了一个新颖的三自由度微动定位平台,用于补偿现有宏定位平台的定位误差。通过柔性铰链柔度公式计算出放大比,用ANSYS仿真软件分析出机构的固有频率,通过一些开环实验得到
【机 构】
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广东工业大学机电工程学院
【出 处】
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机械工程与自动化
【发表日期】
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2018年5期
【基金项目】
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广东省科技计划项目(2015B010133005)
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