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随着宽禁带半导体器件的发展,电力电子器件的开关速度越来越快,工作电压逐渐升高,致使电压探头的性能对电力电子器件暂态电压测量结果的影响程度增大。该文分析几种实验室常用的示波器电压探头的测量原理,根据电压探头的电路分析模型,研究探头的带宽/上升时间、寄生电感和共模抑制比等几个关键因素对高频暂态电压测量结果的影响。最后搭建实验平台,实验结果验证了理论分析的有效性。