【摘 要】
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在介绍三自由度平面电机的结构和工作原理之后,提出执行器的电磁力方程和平面电机的运动控制方程,推导合外力和执行器水平电磁力的转换方程,提出平面电机的三自由度解耦控制
【基金项目】
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国家自然科学基金(50407008);南京市2010年高新技术产业化专项(201002009)
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在介绍三自由度平面电机的结构和工作原理之后,提出执行器的电磁力方程和平面电机的运动控制方程,推导合外力和执行器水平电磁力的转换方程,提出平面电机的三自由度解耦控制策略。设计三个自由度的位置伺服控制算法,进行单自由度定位和三自由度同时定位实验。平移运动的上升时间为0.1 s,稳态误差为10μm,旋转运动的上升时间为0.07 s,稳态误差为0.1 m rad。实验结果表明：三自由度解耦控制策略可行,系统的动静态特性理想。
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