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MEMS（Micro Electrome-chanical System，即微电子机械系统）是指集微型传感器，执行器以及信号处理和控制电路、接口电路，通信和电源于一体的微型机电系统。MEMS技术是一种典型的多学科交叉的前沿性研究领域，几乎涉及到自然及工程科学的所有领域，如电子技术，机械技术，材料科学，能源科学等。