【摘 要】
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采用硅基二氧化硅阵列波导光栅设计并制作了宽带低串扰单纤三向器．为使三个波长间隔相差较大的输出谱获得相同的带宽，在输出波导与罗兰圆交界采用了不同结构的多模干涉器．二维有
【机 构】
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中国科学院半导体研究所光电研发中心
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采用硅基二氧化硅阵列波导光栅设计并制作了宽带低串扰单纤三向器．为使三个波长间隔相差较大的输出谱获得相同的带宽，在输出波导与罗兰圆交界采用了不同结构的多模干涉器．二维有限差分束传播法的模拟结果表明，理论上1310nm、1490nm和1550nm波长的3dB带宽分别达到23nm、23，5nm和25nm，插入损耗均为4dB，1310nm波长的串扰小于-40dB，1490nm与1550nm波长间串扰小于-40dB；采用宽带光源测试结果表明，1550nm波长的3dB带宽为23nm，采用三个独立窄带光源测试结果表明，
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