MOCVD生长A1_xGa_(1-x)P/GaAs异质外延层的结晶完整性初探

来源 :人工晶体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：janebudian

【摘要】

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MOCVD生长的III V族异质外延材料的晶体结构完整性主要由生长时采用的源材料、衬底、温度、压力、流量以及反应器设计等因素所决定。为了获得具有优良光电性能的异质外延材料

【作者】

：

张兆春黄柏标崔得良秦晓燕蒋民华

【机构】

：

山东大学晶体材料国家重点实验室

【出处】

：

人工晶体学报

【发表日期】

：

2000年S1期

【关键词】

：

Al_xGa_(1-x)P/GaAs异质外延材料结晶完整性 MOCVD法 Al x Ga 1- x P/GaAs heteropitaxially mater

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MOCVD生长的III V族异质外延材料的晶体结构完整性主要由生长时采用的源材料、衬底、温度、压力、流量以及反应器设计等因素所决定。为了获得具有优良光电性能的异质外延材料 ,需要对这些影响因素进行优化。AlxGa1-xP由于具有宽的禁带宽度、较低的本征载流子浓度和折射率 ,因此可以用于制作优良的光电器件。然而由于AlxGa1-xP与GaAs在晶格常数、热膨胀系数等物理化学性质上存在着差异 ,致使利用MOCVD在GaAs衬底生长的AlxGa1-xP外延层常常呈现较差的表面形貌以及内部存在大量缺陷。本文利用扫

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