几种平面度误差分离方法的分析

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介绍了多测头平面度误差分离的几种方法。包括递推逐次两点法、最小二乘逐次两点法、二维频域直线三点法等,并对这些方法存在的问题作了简要说明。最后指出相对于直线度误差分离技术已经趋于成熟而言,平面度误差分离技术还存在诸多问题有待于解决。
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