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综述了各类表面微观形貌测量方法,分析了它们各自的原理和优缺点,针对各种方法列举出了典型的商品化仪器,提出了目前存在的关键问题,并对各种方法的未来研究发展方向进行了展望.
表面微观形貌测量方法探讨
【摘 要】
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综述了各类表面微观形貌测量方法,分析了它们各自的原理和优缺点,针对各种方法列举出了典型的商品化仪器,提出了目前存在的关键问题,并对各种方法的未来研究发展方向进行了展
【机 构】
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燕山大学机械工程学院,哈电集团（秦皇岛）重型装备有限公司
【出 处】
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计量学报
【发表日期】
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2016年z1期
【基金项目】
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燕山大学青年教师自主研究计划项目，河北省自然科学基金项目，河北省高等学校自然科学研究重点项目(ZD20131066/ZD2015023):河北省高等学校自然科学研究青年基金项目
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